本实用新型公开了一种真空镀膜设备用磁导向装置，属于机械制造设备技术领域，为解决现有磁导向装置导向不稳定等问题而设计。一种真空镀膜设备用磁导向装置包括设在真空镀膜箱形成的真空腔体内的内磁导向组件、设在内磁导向组件下部的基片架以及设在真空镀膜箱外侧的外磁导向组件，其中，内磁导向组件包括内磁钢压板和通过内磁钢压板固定的内磁钢；基片架在朝磁导向组件的一端设有支撑磁钢；内磁钢的N极与支撑磁钢的S极相对或内磁钢的S极与支撑磁钢的N极相对，内磁导向组件通过异极相吸为所述基片架提供支撑和导向。该真空镀膜设备用磁导向装置支撑和导向稳定、安装方便、制造成本低。