所属领域： A 电子信息技术

技术成果简介

在微电子器件制作领域，碳纳米管引领的新型微电子材料的加工设计也需要微作用力辅助控制它们的移动与衔接。因此人工控制微观粒子的实验都离不开微作用力的探索。光电芯片利用光敏薄膜，在空间光照射下，会在光电薄膜表面形成虚拟电极。虚拟电极与传统金属电极一样可以产生介电泳力满足微粒的收集、输运和分离。光电芯片的结构从制作工艺和造价成本上都比金属电极简便和低廉。本成果提出一种平行电场式光电芯片。平行电场式光电芯片与借助平行电场式光电芯片结合形态多异的可编程光斑能使碳纳米管成链，由此可满足基于碳纳米管传感器和调谐激光器的制作需求。

技术成果前景

本设计的平行电场式光电芯片，通过空间光斑照射到左、右两块具有一定间距的氢化非晶硅表面后，使光电芯片内电场导通。导通的电场提供的光诱导 介电泳力能够迫使碳纳米管形成规则长链。