电子特种气体作为集成电路制造的核心材料，其份额约占集成电路制造过程中材料成本的13%，其产品品质直接关系到集成电路的性能和良率。长期以来，电子特种气体的核心技术和产品制造被国外垄断，核心技术和产品供应受制于人，产品价格居高不下。该项目将以SiH2Cl2，SiHCl3，SiCl4，Si2H6，Si2Cl6等作为研究对象，这5种气体的特点是市场容量大，国内产品的生产技术水平与国外一流技术尚有差距，可以通过技术水平的提升带来相应的经济效益。