集成电路用三氟甲烷和二氧化硫关键技术开发
类 别:钛钒与新材料
地 区:市辖区
单位名称:承德市生产力促进中心
联系电话:0314-2383069
发布时间:2022-11-15

■所属单位:中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司

■技术领域:新材料

■项目简介:该项目针对电子级的三氟甲烷和二氧化硫的几种关键指标展开研究,开发出了低温精密精馏技术以及痕量杂质分析等关键技术,实现了全流程的精准控制,大幅降低了产品中关键杂质的含量,实现了样品的在线检测合格,并在此基础上进行了工艺放大,为下一步的产业化打好基础。