高纯六氟化钼的制备与提纯
类 别:钛钒与新材料
地 区:双桥区
单位名称:承德市生产力促进中心
联系电话:0314-2383351
发布时间:2022-11-26

六氟化钼作为一种金属氟化物主要用于钼的同位素分离,可在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钼或钼,同时也是半导体领域的重要材料。该项目利用高纯三氟化氮与钼粉进行反应制备高纯六氟化钼,与氟气相比,高纯三氟化氮中氟化氢等杂质的含量很低,生成的六氟化钼纯度高,经提纯后可达到4N5以上。