超高纯硅基电子材料制备关键技术及应用
类 别:钛钒与新材料
地 区:市辖区
单位名称:承德市生产力促进中心
联系电话:0314-2383069
发布时间:2025-12-22

中国恩菲围绕国家集成电路战略重大需求开展科技攻关,创建“催化—吸附—络合—沉积”技术体系,开发超高纯硅基电子材料制备技术及装备,建成14种、产能超万吨的产业化系统,在50余家企业批量应用,实现进口替代。