本发明属于光学玻璃元件模压成形领域，涉及一种单晶碳化硅模压模具的磨削加工方法及位控力控协同控制高温模压方法，利用超声振动辅助化学机械磨削方法加工单晶碳化硅，获得粗糙度小于2nm、面形精度小于0.3μm的非球面模具，利用单晶碳化硅模具进行光学玻璃高温模压成形时，当下模具的模压力增加速率超过预设的阈值时，模压组件控制上模具降低移动速率，而当下模具的模压力增加速率小于设定值时，模压组件则控制上模具提高移动速率，最终实现位控力控协同控制的高温模压成形。本发明提高模具的服役寿命，同时可精准控制高温玻璃熔体的形变量和形变速率，降低光学玻璃元件的表面缺陷及因应力集中或分布不均而导致服役性能失效的问题。